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Rubis晶圆镊子的功能介绍

Rubis晶圆镊子的功能介绍
耐高温晶圆镊子(Rubis晶圆镊子)又叫做精密镊子,导静电镊子,简称PEEK,具有耐高温,耐磨损性,耐化学品腐蚀、阻燃、等诸多显著优势:
A.可在250℃下长期使用,在高温下能保持较高的强度,尺寸稳定性较好,线胀系数较小,非常接近于金属铝材料;
B.(Rubis晶圆镊子)具有突出的摩擦学特性,耐滑动磨损和微动磨损性能优异,尤其是能在250℃下保持高的耐磨性和低的摩擦系数,因此,夹取晶圆,硅片的时候,不会对晶圆,硅片的表面产生划痕,不会因摩擦而对晶圆,硅片产生残留物,从而提高了晶圆,硅片的表面洁净度。
C.耐化学药品性强,在通常的化学药品中,只有98%的浓硫酸能溶解或者破坏它,它的耐腐蚀性与镍钢相近,同时其自身具有阻燃性,在火焰条件下释放烟和有毒气体少,抗辐射能力强;
由于具有以上诸多显著优势使得其在半导体,光伏,微电子,航空航天、汽车制造、医疗等领域具有广泛的应用.

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